尺寸: 25.4mmx25.4mmx25.4mm
通光口径: >Φ21.6mm
工作波长: 266nm
增透膜 R<0.25% @266nm
PBS膜 Tp>95%@266nm,Rs>99.5%@266nm
消光比:(Tp:Ts) Tp/Ts>200:1 Rs/Rp>100:1@266nm
吸收: Abs<400ppm@266nm
偏振分离: <30arcsec
光洁度: 20/10
透过波前(@633nm) λ/5@633nm,IRR:λ/10@633nm
反射波前(@633nm) λ/4@633nm,IRR:λ/8@633nm
透过偏振分离: <30’’
透过偏振分离: 90°+/-1arcmin
粗糙度: 3-5A(before coating)
深化光胶工艺
材料 C7980 ARF1A
损伤阀值 25W/cm2(PEAK:25kW/cm2)@266nm 10ns 80MHz PULASE WIDTH FULL WIDTH AND 10mm BEAM DIAMETER