镀膜
光学镀膜
光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。
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△IBS蒸镀
真空镀膜机离子束溅射(IBS)镀膜离子束溅射法，简称IBS。这是用离子源发出离子，经引出、加速、聚焦，使其成为束状，用此离子束轰击置于高真空的靶，将溅射出的原子进行镀膜。
离子源是IBS装置中最重要的部分，离子源通常由产生离子的放电室引出并加速(或减速)离子的网状电极群，以中和离子电荷的灯丝所构成。这种离子源的特点是装备有多极磁场和多孔式离子引出系统，容易引出大直径大电流的离子束。
IBS镀膜产品的优势：
损伤阈值高
环境稳定性好
机械性能强
IBS镀膜产品的劣势：
镀膜成本高
IBS的产品：高功率光学元件
(如：紫外反射镜，红外反射镜，窗口片，偏振片，分光片，滤光片等)
△离子辅助蒸镀
离子束辅助沉积镀膜(Ion Assisted Deposition),简称IAD。它是在热蒸发镀膜的同时用一束离子束对基片施以某种工作气体(如Ar、N2)的离子轰击，利用离子束辅助沉积技术使离子轰击沉积中的薄膜，改善薄膜性能，外来离子对凝聚的粒子的动量传递，使得凝聚粒子的能量和稳定性增加，从而导致很高的堆积密度，改善膜层的光机性能，实现在室温下的冷镀。
IAD镀膜产品的优势：
膜层组织致密，耐蚀性好
成膜速率高
镀膜成本低
IAD镀膜产品的劣势：
离子镀的应用有一定限制
基片温度较高
淀积的薄膜中含气较高
IAD的产品：光学元件
（如：反射镜，窗口片，滤光片等）
